『第26回 ファインテック ジャパン』内、MEMS技術ゾーンに出展します。

【M E M S】
MEMSデバイス量産（MEMSファンドリー）

• Silex microsystemsと提携
• 自社製品を持たない、Pure Play MEMSファンドリー
• MEMS専用　φ6” φ8”の量産ラインを保有
  • ＜高歩留を実現するプラットフォーム技術＞
    ・Sil-Via（オールSi構造により高温/高密度に対応するTSV技術）
    ・Met-Via／Met-Cap（Cu中空構造による高歩留のTSV技術）
    ・Sol-Gel法による、PZT膜生産技術を確立
  • ＜高い費用対効果を実現する「スマートBLOCK」＞
    ・「スマートBOX」とは、Silex microsystemsが蓄積する加工ライブラリやショートループ検証により、開発費用と期間の最適化を実現する開発手法。
    お客様のタイムリーな製品リリースをサポートします。

【ナノインプリント】
モールド作製〜転写加工〜素材供給まで一貫対応

• ナノ〜マイクロサイズの微細モールド製作
• 受託転写加工（過去 1000件以上の転写事例や大型基板への転写の紹介）
• 転写条件に最適な素材の提案
• 量産に最適なシームレスRTR用モールドの提案

微細構造体の応用例 及び 技術コンサルティングの紹介

• 反射防止構造（太陽電池、ディスプレイ等）
• 疎水性構造 （窓、液体用梱包材等）
• くもり防止構造（バイオ関連）
• 水滴キャッチ構造（水量コントロールを要する製品への応用）

製品加工例の紹介

• シャーレと一体型の培養チップ
• 反射防止構造付きサファイアガラス