『MEMS Engineer Forum(MEF) 2018』へ出展します。
2018/03/20
2018年4月25日(水)〜26日(日)、KFCホールにて開催される『MEMS Engineer Forum(MEF) 2018』へ出展します。
詳細は以下の通りです。
開催概要
会期 | 2018年4月25日(水)〜26日(金) |
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開催場所 | KFCホール(東京、両国) |
展示内容
[ MEMSファウンドリーサービス ]
弊社保有の加工設備および国内外のネットワークを駆使し、MEMSデバイスの試作から量産まで、お客様のご予算とスケジュールに合わせ、最適なソリューションを提供します。
- ピエゾMEMS、スパッタ・ゾルゲル生成PZT膜、スパッタAiN膜
- CMP加工、各種薄膜の平坦化、直接接合前の平坦化 他
- 接合加工、常温接合、プラズマ接合、共晶接合、陽極接合 他
- ナノインプリント、モールド作製、樹脂転写加工、離型材処理、各種コンサルティング

[ MEMS量産ファウンドリー "Silex Microsystems社" ]
- 自社製品を持たない世界No.1のPurePlayMEMSファウンドリー
- 最新のMEMS専用φ8”量産ラインを所有
- 独自TSV技術「Sil-Via」「Met-Via」「Met-Cap」を開発
- MEMSデバイス薄厚化に対応した独自TGVを開発
是非当社ブースへお立ち寄りください。