Target Bonding Reference Information
| Materials |
|---|
| Ag, Ag-alloy |
| Al, Al2O3, AlN, Ai-Si, Al-Cu, Al-Si-Cu, Al-Ti, Al-Nd |
| Au, Au-Sn, Au-Zn, Au-Ge, AZO |
| Ba |
| C |
| Co, Co-Fe |
| Cr, Cr2O3, Cr-SiO |
| Cu, Cu2O, Cu-alloy |
| Fe, Fe2O3, Fe-Al |
| Ge, GZO |
| Hf |
| In, Ir, Ir-Re, ITO, IZO |
| Mo, MoSi2, MoW |
| Nb |
| Ni, Ni-Cr, Ni-Cu, Ni-Fe, NiO |
| Pb |
| Pd |
| Pt, Pt-Ir |
| Ru, Rh |
| Sb |
| Si, SiO2, Si2N4, SiC, Si-Ta |
| Sn, SnO2 |
| Sr, SrTiO3 |
| Ta, Ta2O5, TaN, Ta-SiO2 |
| Ti, TiO2, TiN, Ti-Al |
| W, W-Si |
| Y, Y2O3 |
| Yb, Yb2O3 |
| Zn, ZnO, Zn-Ni |
| Zr, ZrO2, ZrO2+Y2O3 |
| Shape (Size of Bucking Plate) | |
|---|---|
| Large target | 1400mm x 1400mm |
| Planer target | 400mm x 2300mm |
| Rotary target | φ160mm x 2400mm |
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| 製品分類1 | Targets and Bonding |
|---|---|
| 製品分類2 | Reference |
| プロセス分類 | Volume production |
| サムネイル画像 |
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| 説明文 |
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| リダイレクトURL |
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