マスクアライナー
精密機器メーカーOAI社製マスクアライナー・UV光源・UV照度計
OAI社とは
OAI社はカリフォルニア州のシリコンバレーに所在し、40年以上の歴史を持つ、ソーラー、半導体、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリントといった先端分野向けの精密機器を製造する光源メーカーです。
経済的かつ、充分に技術検証されたソリューション。それがOAIブランドのコアバリューです。
単に設備資産を販売する事と、お客様固有の要望に対して実際に高度に機能するソリューションを提供する事。そこには明らかな違いがある事をOAI社は熟知しています。この点においてOAIは他社に比べ非常に優れている定評があります。そして長くは数十年に渡り、協業相手かつパートナーとしての関係をお客様と築いてきました。世界中で1000台以上の販売実績を有しております。
経済的で費用対効果が高いソリューションがOAIの証です。UV光源をはじめとする機器の長年の製造経験を通じて、OAI社はモジュラー化されたサブシステムの確立された試験方法を有しており、これがカスタム構成の装置を経済的に提供できる理由です。
この手法は、コストのみならず信頼性、装置拡張性、そして究極的にはお客様のトータル所有コストの低減に寄与します。
是非、当社の専門チームにお問い合わせ頂き、お客様のR&Dや製造における、効率化や経済化のチャレンジについてご相談ください。
R&DツールからUV量産装置まで、OAI社はお客様のあらゆるステップに寄り添うパートナーです。
当社ではマスクアライナー、UV露光装置、UV光源、UV照度計といった装置を取り扱っています。
OAI社製品の特徴
- コンパクトなR&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。
- ライトソースのみの販売も行っております。
- 永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。
- リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、UV硬化（キュア）、太陽電池（ソーラー）、抵抗特性評価など。
マスクアライナー
- マスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。
一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。 - OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。
特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。 - オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「ＵＶナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。
- 半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池（ソーラー）用途に最適です。
マスクアライナーのラインナップ
| 型式 | タイプ | 用途 | アライメント方式 | 基板サイズ | 操作 |
|---|---|---|---|---|---|
| Model200 | マニュアル式片面マスクアライナー | R＆D | 片面 | ～Φ8" | マニュアル |
| Model200IR | IR方式両面マスクアライナー | R＆D | IR両面可能 | ～Φ8" | マニュアル |
| Model800MBA | セミオート両面マスクアライナー | R＆D量産用 | 光学両面可能 | ～Φ8" | セミオートマチック |
| Model6000 | 全自動両面マスクアライナー | 量産 | 光学両面可能 | ～Φ12" or ～□12" | オートマチック |
| Model6000E | 大型基板向けマスクアライナー | R＆D量産 | 片面 | ～20" or ～20" | マニュアル |
| Model2000 | エッジビーズ露光システム | 量産 | 片面 | ～Φ8" | オートマチック |
Model200 : マニュアル式片面マスクアライナー R&D用
Model 200マスクアライナーはテーブルトップ装置で、初級向けのリーズナブルでシンプルなシステムです。
| モデル | 200 |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 8インチ角 まで |
| マスク 対応サイズ | 9インチ角 まで |
| アライメント ステージコントロール | XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 1500µm 回転 : ± 3.5° |
| アライメント 精度 | - |
| 露光 時間 | 0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは 1s～999s(1s間隔） |
| 露光 モード : 解像度 | プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 940mmH x 788mmW x 635mmD |
Model 200IR IR方式両面マスクアライナー R&D用
Model200にIR方式両面アライメント機能を追加したモデル。
IR方式の為、両面パターニングを安価に導入できます。
| モデル | 200IR |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 8インチ角 まで |
| マスク 対応サイズ | 9インチ角 まで |
| アライメント ステージコントロール | XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 1500µm 回転 : ± 3.5° |
| アライメント 精度 | 両面：＜±ス 3µm (250um厚以下） ＜± 5µm （両面研磨基板） |
| 露光 時間 | 0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは 1s～999s(1s間隔） |
| 露光 モード : 解像度 | プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 940mmH x 788mmW x 635mmD |
Model800MBA: セミオート両面マスクアライナー R&D・量産用
Model 800MBAセミオート両面マスクアライナーは、光学両面アライメント機能を兼ね備えたハードパッケージに搭載されたシステムです。装置に任せる事が可能でセミオートで動作します。
R&Dで光学式な両面アライメントが可能な他、量産機としての使用にも適しています。
| モデル | 800MBA |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 8インチ角 まで |
| マスク 対応サイズ | 9インチ角 まで |
| アライメント ステージコントロール | XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 3000µm 回転 : ±4° |
| アライメント 精度 | 片面：0.5～1µm 両面：＜2µm（3σ) |
| 露光 時間 | 1s-3200s (0.1s間隔) |
| 露光 モード : 解像度 | ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 1829mmH x 1270mmW x 813mmD |
Model 6000 全自動量産マスクアライナー 量産用
Model 6000はフルオートマチック、オールコンピューター制御、光学裏面密着露光の機能を兼ね備えたマスクアライナーシステムです。スループットは1時間に180ウェハが可能。半導体やMEMSの生産ラインに適したモデルです。企業の生産工業に適し、中小企業用として、研究開発用途から中量産使用についてコストパフォーマンス高く導入できます。
| モデル | 6000 |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 50mm～200mmウェハ/角 もしくは 200mm～300mmウェハ/角 100um～7mm厚 7mm～10mm反り量 |
| マスク 対応サイズ | - |
| アライメント ステージコントロール | XY 動作 : ±6.5mm Z 動作 : 1500µm 回転 : ±5° |
| アライメント 精度 | 片面：0.5µm 両面：＜2µm（3σ) |
| 露光 時間 | 1s-999s (0.1s間隔) |
| 露光 モード : 解像度 | プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 1651mH x 2184mmW x 1364mmD |
Model6000E : 大型基板向けマスクアライナー R&D、量産用
Model 6000Eは大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板（最大20″×20″まで）のプロセス需要に対応します。
| モデル | 6000E |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 500mm角まで |
| マスク 対応サイズ | - |
| アライメント ステージコントロール | XY 動作 : ±6.5mm Z 動作 : 1500µm 回転 : ±5° |
| アライメント 精度 | 片面：＜0.5µm（3σ) |
| 露光 時間 | 1s-999s (0.1s間隔) |
| 露光 モード : 解像度 | プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 400V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 1905mH x 1422mmW x 1143mmD |
Model2000 エッジビード露光システム 量産用向け
Model 2000はフラッド露光またはエッジビード露光が可能なフルオートマチックタイプの装置です。
シャドウマスク技術が貴重なエッジビード除去工程を必要とする製品製造を容易にします。
| モデル | 2000 |
|---|---|
| 基板 対応サイズ | 12インチ径まで |
| マスク 対応サイズ | - |
| アライメント ステージコントロール | - |
| アライメント 精度 | - |
| 露光 時間 | 1s-999s (0.1s間隔) |
| 露光 モード : 解像度 | - |
| スループット | - |
| 付帯設備 | 電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
| サイズ | 1727mH x 1041mmW x 914mmD |
UV光源
- UV光源とは、特定の紫外線波長を発する光源/ランプです。
半導体、太陽電池（ソーラー）、バイオ/医療、UVキュア（硬化）など多くの用途に用いられます。 - OAI社のコリメート光源およびUV露光装置は、Near UVからDeep UVまで対応しています。スタンドアロンUV光源メーカーのリーダーとして、最高品質のミラー、レンズコーティング、ユニフォーミティ、そして優れた設計といった光学技術の経験蓄積をOAI社は有しています。その結果、それぞれのUV光源は最もニーズが高い仕様に対する認証を得ています。さらに、OAI社のUV光源はOAI製のマスクアライナーにモジュールとして組み込み可能な為、将来マスクアライナーが必要となった場合のコスト低減に寄与します。UV光源のユニフォーミティを測定するには、OAI製のUV照度計をご使用ください。
UV光源のラインナップ
| モデル | タイプ | ビームサイズ | 波長帯域 | 出力レンジ | シャッタータイム | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Model 30 | UVライトソース | 2" - 12" | 220-450nm | 200-5kW | 0.1-999秒 | スタンダードタイプ |
| Model 30E | UVライトソース拡張タイプ | 同上 | 同上 | 同上 | 同上 | 基板引出し機構と回転チャック付き |
| Model 30 Grande | 大面積UVライトソース | 12" - 1m | 同上 | 同上 | 同上 | 大型基板用 |
UVライトソース Series30：スタンドアローンタイプ
シリーズ30は様々なアプリケーションを意図した高効率な光源です。このUV光源は様々なランプが搭載されていることにより、多様で適切なビームサイズを選択することができます。
UV照度計
- UV照度計とは、紫外線の様々なパラメーターを測定する為の装置です。光量、強度などを測定する為に、パワーメーター、ラジオメーター、エネルギーアナライザーなどの種類があります。
- OAIのUV照度計には以下の特徴があります。
・RoHS およびCE準拠
・取り外し可能なシングルまたはデュアル波長プローブ
・自動レンジング、デジタル表示
・光の強度はミリワット/cm2にて測定
・NIST準拠の正確性
・データログ用のハイスピードシリアルポート
UV照度計のラインナップ
UVパワーメーター、UVラジオメーター
| model | タイプ | 対応波長帯域 | 強度レンジ | 精度 |
|---|---|---|---|---|
| Model308 | ハンディUV照度計 | 200nm - 540nm | 0 - 1999 mW/cm2 | ±3% |
| Model308DH | データロガー付きハンディUV照度計 | 200nm - 540nm | 0 - 1999 mW/cm2 | ±3% |
| Model308HI | 高強度向けプローブ付きハンディUV照度計 | 200nm - 540nm | 2000 - 7500 mW/cm2 | ±3% |
UVエネルギーアナライザー
| model | 適応機種 | 対応波長帯域 | エネルギーレンジ | 強度レンジ | 精度 |
|---|---|---|---|---|---|
| Model311 | すべてのアライナー | DUV,MIDUV,NUV | 0 - 199.9 mj | 2 - 400 mW/cm2 | ±3% |
| Model316 | Perkin-Elmer プロジェクションアライナー 100, 200, 300 | NUV | 0.1 - 1000 mj | 0.1 - 1000 mW/cm2 | ±3% |
| Model317 | SVGL(ASML), Perkin-Elmer プロジェクションアライナー | MIDUV,NUV | 0 - 9999 mj | 16 - 1600mW/cm2 | ±3% |
| Model356 | すべてのアライナー | DUV,MIDUV,NUV | 0 - 9999 mj | 0.1 - 400 mW/cm2 | ±3% |
| Model357/457 | ASML, GCA Nikon, Canonステッパー | 365,400,420,436nm | 0 - 9999 mj | 16 - 1600mW/cm2 | ±1.5%(NB),±3%(NB) |
| Model358/458 | ASML, GCA Nikon, Canonステッパー | 365,400,420,436nm | 0 - 9999 mj | 40 - 4000mW/cm2 | ±1.5%(NB),±3%(NB) |
| Model459 | Ultratechステッパー | 365,400,420,436nm | 0 - 9999 mj | 6000mW/cm2まで | ±3% |
UV照度計の校正サービス
25年以上にわたり、OAI社は紫外線（UV)を測定するNISTに準拠した校正（キャリブレーション）のグローバルリーダーです。OAI社のUV照度計は元々は半導体ウェハ製造業界向けに開発され、業界でも最も信頼性・再現性が高いNIST準拠の校正（キャリブレーション）を提供してきました。今では世界中の主たる半導体ウェハ製造業者において、OAI社のUV照度計がスタンダードな測定器として採用されています。
そしてまた、上述の正確さの保証に加え、迅速で効率的な校正サービスである事もOAI社のUV照度計校正サービスの特徴です。
協同インターナショナルはOAI社の正規代理店です。その為、UV照度計の校正サービスに伴う貿易上の手続きを簡略化する事が可能です。
検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
| 製品分類1 | 微細加工装置 |
|---|---|
| 製品分類2 | ナノパターン露光装置 |
| プロセス分類 | 加工装置 |
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