半導体製造工程　半導体製造装置（部品）洗浄

半導体製造工程における半導体製造装置（部品）洗浄では、一般的に、外注委託の洗浄業者による薬液洗浄が一般的です。しかし…

薬液洗浄外部委託の問題点

1. 納期にあわせて部品在庫を確保しなければならない。
2. 受渡・受取時の検査が面倒。
3. 洗浄コストが高い。

実際に、ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」で洗浄してみると…

薬液では落としきれないパーティクル・細穴部の最適洗浄例のご紹介

結果的にこのようなメリットがあります

真空装置部品クリーニング処理を薬液洗浄から変更したことにより、ダミーランタイムの削減ができ、ライン立上げ時間を短縮できました。

当社ドライアイス剥離洗浄機「スーパーブラスト」の、パウダー状の微細なドライアイスを吹きつける独自の方法により、半導体製造装置の部品表面に残留するパーティクルや、シャワープレート等の狭深部（細穴、スリット）への洗浄効果が向上します。