UPA Relocation (cable disconnect prevention)
We make limited space of UPA area wider by relocating UPA.
This modification leads to minimization of cable disconnection and troubles related to cable failure.
Features
- Easy to replace P1/P2 cables on UPA board
- UPA pressure check
- Reduction of alarm from equipment
- Avoid damage of P1/P2 cables caused by E chain motion
- Loss of UPA components due to polishing shark is avoidabl
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記入時注意事項
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| 製品分類1 | Consumables parts for sale/repair/overhauls |
|---|---|
| 製品分類2 | CMP others |
| プロセス分類 | Volume production |
| サムネイル画像 |
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| 説明文 |
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| リダイレクトURL |
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