Wafer Rotation Detection System for Mega / Brush Tank
We add “sensor-equipped roller” onto roller module located inside megatank to detect signal of rotation condition of wafer and this modification enables user to forestall conceivable trouble or failure.
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| 製品分類1 | Consumables parts for sale/repair/overhauls |
|---|---|
| 製品分類2 | CMP others |
| プロセス分類 | Volume production |
| サムネイル画像 |
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| 説明文 |
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| リダイレクトURL |
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