Wafer Rotation Detection System for Mega / Brush Tank
We add “sensor-equipped roller” onto roller module located inside megatank to detect signal of rotation condition of wafer and this modification enables user to forestall conceivable trouble or failure.

検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 | Consumables parts for sale/repair/overhauls |
---|---|
製品分類2 | CMP others |
プロセス分類 | Volume production |
サムネイル画像 |
![]() |
説明文 |
|
リダイレクトURL |
|