UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業
スペース的に限界のあるUPA部をよりシンプルな構造にし、
ケーブルの断線及びケーブル起因不具合を最小限に抑えることができます。
特徴

- UPAボード上のP1/P2ケーブルを容易に交換
- UPAプレッシャーチェック
- 装置アラームの発生低減
- EチェインモーションによるP1/P2ケーブルダメージを回避
- ポリッシングシャークによるUPA構成部品紛失を回避
検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール |
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製品分類2 | CMP各種商品 |
プロセス分類 | 量産プロセス |
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