UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業

スペース的に限界のあるUPA部をよりシンプルな構造にし、
ケーブルの断線及びケーブル起因不具合を最小限に抑えることができます。

特徴

UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業
  • UPAボード上のP1/P2ケーブルを容易に交換
  • UPAプレッシャーチェック
  • 装置アラームの発生低減
  • EチェインモーションによるP1/P2ケーブルダメージを回避
  • ポリッシングシャークによるUPA構成部品紛失を回避

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記入時注意事項

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製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール
製品分類2 CMP各種商品
プロセス分類 量産プロセス
サムネイル画像 UPA部移設(ケーブル断線未然防止)作業
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