ローラーモジュール修理

メガ/ブラシタンク用 ローラーモジュール修理（リペア）/オーバーホール

CMP洗浄槽のメガソニックタンク、ブラシタンク用ローラーモジュールを修理・再生するサービスです。

特徴

• 純正品の構造に準拠した修理/オーバーホールです。
• 純正品よりもリーズナブルで、リードタイムも3～4週間とお求めやすい内容です。
• ローラーモジュールの新品販売も可能です。
• 別途、「ウェハ回転検知」の機能を取り付けるサービスも行っています。
  （メガ/ブラシタンク用ウェハ回転検知システム）
• その他メガタンク構成部品のメガローラー/メガアイドルローラーも販売しています。