自動洗浄（セルフクリーニング）システム
装置部品に飛び散ったスラリーを純水スプレーで洗い流すシステムです。
乾燥したスラリー固形物から発生するウェハのマイクロスクラッチ問題を改善することができます。
特徴
- スプレーユニット一式の販売とその取付け作業を請け負います。
- マイクロスクラッチを気にされるユーザーには大変効果的なシステムです。
- 取り付けたい場所に任意でスプレーを設置することが可能です。
検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
| 製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール |
|---|---|
| 製品分類2 | ＣＭＰ各種商品 |
| プロセス分類 | 量産プロセス |
| サムネイル画像 |
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| 説明文 |
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| リダイレクトURL |
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