トラブル検知モニタリングシステム
オンラインでの装置モニタリングを可能にし、装置トラブル起因の生産ロスを最小限に抑えるシステムです。
アラーミング機能取り付けサービス
改造PCHを導入いただいた後に、下記のセンサー機能の取り付けも行っています。
標準パック
- PCHのアップ/ダウン検知
- PCHの回転検知
- プラテンの回転検知
その他オプション
- DIウォーター圧力
- 高圧リンス
- 洗浄/ペデスタル
- インタープラテン洗浄
- グローバルイリゲーション
- カセットタブフィル等

検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール |
---|---|
製品分類2 | CMP各種商品 |
プロセス分類 | 量産プロセス |
サムネイル画像 |
![]() |
説明文 |
|
リダイレクトURL |
|