トラブル検知モニタリングシステム

オンラインでの装置モニタリングを可能にし、装置トラブル起因の生産ロスを最小限に抑えるシステムです。

アラーミング機能取り付けサービス

改造PCHを導入いただいた後に、下記のセンサー機能の取り付けも行っています。

標準パック

  • PCHのアップ/ダウン検知
  • PCHの回転検知
  • プラテンの回転検知

その他オプション

  • DIウォーター圧力
  • 高圧リンス
  • 洗浄/ペデスタル
  • インタープラテン洗浄
  • グローバルイリゲーション
  • カセットタブフィル等
トラブル検知モニタリングシステム

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 パーツ・販売・修理・オーバーホール
製品分類2 CMP各種商品
プロセス分類 量産プロセス
サムネイル画像 トラブル検知モニタリングシステム
説明文
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