静電チャック（Eチャック/ESC）再生

イオン注入装置用静電チャック（ESC）を独自の再生技術、材料を用いて再生します。
純正品で問題視される部分を改善できる“アップグレードタイプ”の再生です。

特徴

オリジナルの“ハードミネラルコーティング”により以下の点で純正より優れた性能を発揮します。

• スクラッチ、チッピング、アーキング、層間剥離の低減
• IPAやアセトンなどの溶剤で拭き取れるため簡易洗浄が実現可能⇒寿命延長の実現
• ディンプル構造のESCにより均一性の高い冷却、裏面パーティクル低減が実現可能
• 8インチ（200mm）、12インチ（300mm）用ESCに対応可能
• 使用済ESCとのエクスチェンジが可能

フローチャート