メガ/ブラシタンク用 ウェハ回転検知システム
メガタンク内ローラーモジュールに"センサ付きローラー"を追加し、"ウェハの回転信号"を検知させることでトラブルを未然に防ぐことを可能にします。
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| 製品分類1 | パーツ・販売・修理・オーバーホール |
|---|---|
| 製品分類2 | ＣＭＰ各種商品 |
| プロセス分類 | 量産プロセス |
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