スパッタリング装置仕様
CFS-4ES型（1号機）
| スパッタ方式 | サイドスパッタ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX300℃ |
| 基板ホルダー | Φ200mm |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位（Φ150mm以内） |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | RF MAX 300W |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 |
| 排気系(ポンプ) メイン |
油拡散 |
SRV-4300型（2号機）
| スパッタ方式 | スパッタアップ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX300℃ |
| 基板ホルダー | Φ320mm |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位（Φ220mm以内） |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX 1kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 |
| 排気系(ポンプ) メイン |
油拡散 |
SRV-4310型（3号機）
| スパッタ方式 | スパッタアップ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX300℃ |
| 基板ホルダー | Φ320mm |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位（Φ220mm以内） |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX 1kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 |
| 排気系(ポンプ) メイン |
クライオ |
CFS-12P-100型（4号機）
| スパッタ方式 | スパッタアップ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX180℃ |
| 基板ホルダー | Φ396X4ステージ Φ1000X1ステージ |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位 (Φ1000ステージは要相談) |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | DC MAX 2kW RF MAX 2kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 メカニカルブースター |
| 排気系(ポンプ) メイン |
クライオ |
SDH10311型（5号機）
| スパッタ方式 | サイドスパッタ |
|---|---|
| 基板加熱 | 不可 |
| 基板ホルダー | Φ410X4ステージ |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位 |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | DC MAX 4kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 メカニカルブースター |
| 排気系(ポンプ) メイン |
クライオ |
SRV-4320型（6号機）
| スパッタ方式 | スパッタアップ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX300℃ |
| 基板ホルダー | Φ320mm |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位 （Φ220mm以内） |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX 1kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 |
| 排気系(ポンプ) メイン |
ターボ分子 |
STV10321型（7号機）
| スパッタ方式 | スパッタアップ |
|---|---|
| 基板加熱 | MAX200℃ |
| 基板ホルダー | Φ410X4ステージ Φ500X1ステージ |
| 逆スパッタ | 可能 |
| 膜厚分布 | ±10%位 (Φ500ステージは要相談) |
| 反応スパッタ | 可能 |
| スパッタ用電源 | DC MAX 4kW RF MAX 2kW |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
| 排気系(ポンプ) 粗引き |
油回転 メカニカルブースター |
| 排気系(ポンプ) メイン |
ターボ分子 |
検索用入力欄
記入時注意事項
- テーブルの行列は変更しないでください。
- 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
| 製品分類1 | 成膜・フォトリソ・エッチング |
|---|---|
| 製品分類2 | 絶縁膜|裏面電極|リチウム２次電池|ＩＴＯ|ＰＺＴ|ロールｔｏロール |
| プロセス分類 | 試作・研究開発プロセス |
| サムネイル画像 |
|
| 説明文 |
|
| リダイレクトURL |
|