ITOスパッタ膜のシート抵抗値及び透過率
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波長（400nm） |
波長（600nm） |
波長（800nm） |
| 中型機（膜厚100nm、45Ω/□） |
85.80% |
89.70% |
88.50% |
| 大型機（膜厚100nm、60Ω/□） |
84.00% |
86.80% |
87.70% |
| 中型機（膜厚300nm、15Ω/□） |
58.70% |
88.20% |
86.80% |
| 大型機（膜厚300nm、20Ω/□） |
55.10% |
84.40% |
81.60% |
- 中型機の上記透過率有効範囲は、外形Φ200mm xΦ80mm のドーナツ状。
（50mm角×6枚程度/バッチ、Φ8"×1枚/バッチは上記透過率より低下）
- 大型機の上記透過率有効範囲は、Φ340mm以内。
(100mm角×16～20枚/バッチ 及びΦ12"×4枚バッチ）
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| 製品分類1 |
成膜・フォトリソ・エッチング |
| 製品分類2 |
ＩＴＯ |
| プロセス分類 |
試作・研究開発プロセス |
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